众文网1.多层薄膜材料设计
摘要 为了满足大气辐射系统中的光学元件的使用要求，即在可见光及近红外波段范围 具有高透过率，根据双有效界面法设计原理配合TFC膜系软件设计膜系，采用离子辅 助沉积，电子束真空镀膜的方法，通过对真空度、基底温度、Ti口2膜料蒸发速率等工 艺参数的调整和膜层厚度的监控方法的改进，采用A12O。
峋凡，TIOZ,5102四种镀膜 材料，在K，基底上制备了400一1100nm宽带增透膜。并用分光光度计测量了薄膜的透 过率，得到透过率光谱曲线。
所镀膜层在垂直入射时，400一1100纳米波段平均反射率 小于1.5%。最后对制备的增透膜进行了各种环境测试，环境测试结果显示，膜层的各项 指标都达到了设计要求。
关键词：光学薄膜；大气辐射系统；宽带增透膜；离子辅助； ABSTRACT ' radiationsystems,namely,一infrared band, dePositionsystems. interfaeetheory.,base reservoirtemPerature,,we ，加烤凡，TIO:,510:.And ,gotthesPectrum eurvesoftheeoating.,.5% through400nm一1100nmwavelength.Inaddition, environmentaltests,. 价ywords:oPtiealthinfilm;:broadbandARcoating; (IAD)； 目录 摘要 ABSTRACT 目录 第一章绪论。
……，……1 1.1薄膜的发展。
……，。
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•。..••••。
..……1 1.2宽带增透膜的发展及应用.‘、‘一。
一。
……1 1.3论文研究的内容。
.•••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••……2 第二章薄膜设计理论。
.……‘…‘二‘一，.”。”。
.……4 2.1光学薄膜的特性计算。
..……4 2.2双有效界面法。
••••••..••.••••••••••••••••••••••“••••••••••一8 2.3介质多层膜的弱吸收计算。
.……，，。
……。
..……10 第三章增透膜设计理论。
.……13 3.1宽带增透膜的使用要求，。
……，。
..……13 3.2薄膜材料的选择。
•••••••••••••••••••••••••••••••••……13 3.2.1选择薄膜材料的依据。
..……13 3.2.2选择薄膜材料。
.……15 3.3增透膜设计理论基础。
……18 3.3.1单层膜的减反射原理及计算..……，。
..。
2.多层薄膜材料设计
摘要为了满足大气辐射系统中的光学元件的使用要求，即在可见光及近红外波段范围具有高透过率，根据双有效界面法设计原理配合TFC膜系软件设计膜系，采用离子辅助沉积，电子束真空镀膜的方法，通过对真空度、基底温度、Ti口2膜料蒸发速率等工艺参数的调整和膜层厚度的监控方法的改进，采用A12O。
峋凡，TIOZ,5102四种镀膜材料，在K，基底上制备了400一1100nm宽带增透膜。并用分光光度计测量了薄膜的透过率，得到透过率光谱曲线。
所镀膜层在垂直入射时，400一1100纳米波段平均反射率小于1.5%。最后对制备的增透膜进行了各种环境测试，环境测试结果显示，膜层的各项指标都达到了设计要求。
关键词：光学薄膜；大气辐射系统；宽带增透膜；离子辅助；',namely,一infraredband,..,,,，加烤凡，TIO:,510:.,.,.5%through400nm一1100nmwavelength.Inaddition,,.价ywords:oPtiealthinfilm;:broadbandARcoating;(IAD)；目录摘要ABSTRACT目录第一章绪论。
……，……11.1薄膜的发展。
……，。
.……，。
..•。
••。
•。..••••。
..……11.2宽带增透膜的发展及应用.‘、‘一。
一。
……11.3论文研究的内容。
.•••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••••……2第二章薄膜设计理论。
.……‘…‘二‘一，.”。”。
.……42.1光学薄膜的特性计算。
..……42.2双有效界面法。
••••••..••.••••••••••••••••••••••“••••••••••一82.3介质多层膜的弱吸收计算。
.……，，。
……。
..……10第三章增透膜设计理论。
.……133.1宽带增透膜的使用要求，。
……，。
..……133.2薄膜材料的选择。
•••••••••••••••••••••••••••••••••……133.2.1选择薄膜材料的依据。
..……133.2.2选择薄膜材料。
.……153.3增透膜设计理论基础。
……183.3.1单层膜的减反射原理及计算..……，。
……。
……183.3.2双层减反射膜的原理及计算。
.……，..…203.3.3三层减反射膜的原理及计算。
.”。
.……213.3.4多层膜膜系的优化方法。
.……223.4课题设计方案。
•。•••••••。
•。•••••。
……24第四章制备工艺。
..••.••••••••••••••••••••••••……264.1薄膜的制备装置。
..……，。
……264.2主要工艺因素分析。
..……，。
.……314.3成膜过程。
..……，。
……，。
.……324.4镀膜材料折射率的确定。
.……354.5制备工艺过程。
•••••••••••••••••••••••••••••••••••……37第五章误差及测试结果分析。
……395.1实验结果。
.……，。
……，••••••。
..……395.2误差分析。
.……，。
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